Verifire Asphere激光干涉仪 Verifire™ Asphere™

Verifire™ Asphere™激光干涉仪在ZYGO工业级Metropro软件平台上运行。除了具有测量非球面的能力，还能作为平面、非球面和曲率半径测量的立体终端。Verifire™ Asphere™激光干涉仪先进的软件功能对五轴电动样品台的控制能够对非球面进行快速方便的调整。被测件的自动调整和数据自动采集和分析等功能使Verifire™ Asphere系统成为用户理想的产品测量解决方案。

Verifire™ Asphere™非球面检测激光干涉仪 - ZYGO****的上乘结合
快速，非接触，高精度的非球面3D测量激光干涉仪Verifire™ Asphere – 运用砖利的非接触干涉技术，在生产和质量控制中，对非球面进行高精度、定量、三维的表面形貌测量。 基于ZYGO的两个核心技术和砖利的多域测量方式，开发出的系统可以对非球面进行高精度的测量。系统中多个方向轴均为电动控制，能够实现自动调整、自动采集数据和自动进行数据分析，*后得到快速、高精度、定量的非球面面形测量。
Verifire™ Asphere系统是由Verifire™ AT斐索型激光干涉仪和ZMI510位移干涉仪组成。线性位移干涉仪的两个轴跟踪被测件沿着光轴方向的运动，并且每2.5nm扫描一次，Verifire™ AT斐索型激光干涉仪上的高分辨率1K×1K CCD使得每次扫描得到高于70万个数据点。Verifire™ AT主机如果配备Ring of Fire™扩展光源，则表现出更高精度的干涉测量能力。根据被测件的直径大小，Verifire™ Asphere系统可以配置4英寸或6英寸的Verifire™ AT索菲型激光干涉仪主机。