4200-SCS型半导体特性分析系统

直观的、点击式Windows操作环境

独特的远端前置放大器，将SMU的分辨率扩展至 0.1fA

用于**半导体测试的新型脉冲与脉冲式I-V功能

集成了示波与脉冲测量功能的新型示波卡

内置PC提供快速的测试设置、强大的数据分析、制图与打印、以及测试结果的大容量存储

独特的浏览器风格的软件界面，根据器件的类型来安排测试，可以执行多项测试并提供测试序列与循环控制功能

内置了Stress/Measure，循环和数据分析功能，通过鼠标点击方式就可进行可靠性测试，包括5个JEDEC规范的样品测试

支持 Keithley590 型与 Agilent 4284/4294型C-V仪、Keithley开关矩阵与Agilent 81110脉冲发生器等多种外围设备

硬件由 Keithley交互式测试环境（KITE）来控制，用户测试模块功能，可用于外接仪表控制与测试平台集成，是KITE功能的扩充

包括驱动软件，支持CascadeMicrotech Summit 12K系列、Karl Suss PA-200和PA-300，Micromanipulator 的8860自动和手动探针台

支持先进的半导体模型参数提取，包括IC-CAP和Cadence BSIMProPlus/Virtuoso

可靠性测试 — 工艺监测 — 质保测试
4200-SCS半导体特性分析系统
■ 进行极低频C-V测量
■ 与同类竞争系统相比能并行测试更多器件
■ 多达12个带脉冲功能的同步超快I-V通道

4200-SCS半导体特性分析系统：
■ 直流I-V、C-V、脉冲和瞬态特性分析
■ 实时绘图和分析
■ 超过400种样品器件测试库

硬件
4200-SCS采用了模块化、可配置、可升级的架构。这使得它能
够准确满足当前的测量需求，并通过扩展满足后期的需求。它的9个
仪器插槽可以混合配置4种核心测量模块。
● 多达9个精密直流源-测量单元能够提供和测量0.1fA到1A的
电压，或者1μV到210V的电压。
● 利用4210-CVU（C-V模块）可以方便的在1kHz到10MHz测
试频率下进行交流阻抗测试。可以测量的电容范围从aF级到μF级。
● 利用4225-PMU超快I-V模块可以进行脉冲和瞬态测量。该
模块具有两个独立的电压源，能够以1V/ns的步幅调整电压，输出同
时测量电压和电流。当安装了多个模块时，它们内部同步的精度小于
3ns。
● 选择两种不同的数字示波器模块能够方便而高效地生成数字
波形

软件
吉时利交互式测试环境（KITE）提供了一套完整的图形用户界
面，无需编程即可支持几乎所有类型的特性分析测试。它提供了400
多种标准的特性分析测试，包括MOSFET、BJT晶体管、二极管、电
阻器、电容器、太阳能电池、碳纳米管和NVM存储器，例如Flash、
RRAM、PCRAM等等。