MKS流量计 1179A,1479A,1579A ,1559A,M100B,2179A,1480A,

MKS流量计（质量流量控制器）：
• π系列金属密封压力不敏感数字质量流量控制器-MKS流量计
• ALTA® 系列金属密封数字质量流量控制器-MKS流量计
• 金属和弹性密封型热质量流量控制器-MKS流量计
• 以压力为基准的质量流量控制器-MKS流量计
• 实时流量校验器-MKS流量计
• 流量比例控制器-MKS流量计
• 质量流量计电源，读数输出及附件

MKS 是全球***的先进生产工艺控制设备供应商之一， 其产品广泛地应用于各种半导体器件生产, 平板显示器, 光学储存介质, 玻璃镀膜, 光电产品等生产设备及制药和医学成像设备。 MKS 前瞻性的**开发， 推动其产品一直处于全球技术**地位。 MKS 的电源，流量测量, 控制（流量计，压力计）和复杂气体相关的工艺监控技术， 改善了设备完好率和产品成品率， 提高了生产产量和产品性能。 MKS 产品起源于我们的压力测量和控制核心技术， 延伸到材料递送, 气体和薄膜成分分析,静电荷控制,工艺控制,信息管理,电源和反应气体发生器及真空技术。MKS主要提供有： 气体压力及流量测量和控制, 射频 /直流 /微波电源发生器及测量工具, 氟离子 /臭氧反应气体发生器, 真空产品, 气体分析仪, 静电控制及信息和控制技术等产品。

MKS流量计：

•π系列金属密封压力不敏感数字质量流量控制器    

•ALTA® 系列金属密封数字质量流量控制器

•金属和弹性密封型热质量流量控制器

•以压力为基准的质量流量控制器

•实时流量校验器

•流量比例控制器

 

•质量流量计电源，读数输出及附件

MKS压力计：

气体分析：

等离子电源：

真空技术：