Gatan - 样品预制系统

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品牌：其它品牌

公司名称：岱美有限公司

所在地：上海

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产品简介

Gatan - 样品预制系统

产品详细信息

Center Frontier 是由计算机控制的单平台全自动抛光的样品预制系统，它包括对IC和磁头样品预制，应用例如: SEM，TEM，SCM， SIMS ，正面delayering 及PEM，在硅片上，冲模和封装时进行截面和平行面的抛光处理。一前一后设计的一个带CCD摄像头的显微镜和放大倍率达到9000X的成像系统若结合**的亚微米抛光技术使用户更容易达到目标位置，更有清晰度及能更好地进行制程监控。使用计算机控制系统，能更好地利用现有的加工工序，发展新定义的工序，储存图像和测量数据，并能与其它部门或工作点进行信息共享。**的成像处理，自动目标获取，边缘检测，Sagitta在线抛光眼模块，及**的角度控制到-+/-0.1度（EAC）所有这些功能使设备的精度控制达到+/-0.1um。此外，为符合正面delayering 时要求之超高水平精度，机台X、Y轴准确度可达0.003 度，进行****的正面抛光能力。