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MAT - 化学机械研磨机 (CMP) 及 其清洗设备

MAT - 化学机械研磨机 (CMP) 及 其清洗设备
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产品价格： < 面议
产品型号：
品 牌：其它品牌
公司名称：岱美有限公司
所 在 地：上海
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产品简介

MAT - 化学机械研磨机 (CMP) 及 其清洗设备

产品详细信息

MAT Inc. 成立于 1998年9月 
12年研发、生产 CMP及 其清洗设备经验 
用途广泛 : MEMS, SOI, 光学组件, HDD, SiC, Sapphire, 先进电路板、LCD 之生产 及CMP耗材及 IC制程之研发 
晶圆大小由 1” ~ 12” 及 LCD 面板 
可选人手及全自动样品加载载出 
可选样品干入干出或湿入湿出 
具多种终点侦测方式可供选择 
清洗设备具 scrub cleaning, rinse, spin-dry and mega-sonic 功能 
-  占日本 R&D CMP 市场超过70%
详细资料可参考www.j-mat.co.jp

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