Polyteknik - 真空镀膜设备

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品牌：其它品牌

公司名称：岱美有限公司

所在地：上海

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产品简介

Polyteknik  - 真空镀膜设备

l 度身订做, 可于同一台设备上整合不同工艺: 

电子束蒸镀

磁控溅射(直流、射频)

 等离子化学气相沉积

HIPIMS（高功率脉冲磁控溅镀，High Power Impulse Magnetron Sputtering）

掠射角沉积（GLAD - Glanced Angle Deposition）

l 加载互锁真空室(Loadlock)及等离子表面处理可选

l 可应用在不同衬底：硅片、高分子材料、布疋、玻璃……

l 由研发用的单片式设备、量产型设备、卷对卷以至集束型设备(Cluster Tool) 一应俱全

l 良好的镀膜均匀性

l 工艺参数自动记录, 方便日后追踪

l 全计算机自动化控制

l **互锁功能

l 所有部件使用***子, 性能稳定可靠

l 亦提供小批量代工生产及工艺研发

自设实验室设有红外傅立叶分析设备、椭偏仪、X射线成分分析及台阶仪等设备

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