MKS - 先进真空工艺设备零件和系统

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品牌：其它品牌

公司名称：岱美有限公司

所在地：上海

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产品简介

MKS - 先进真空工艺设备零件和系统

美国万机仪器有限公司是全球***的先进生产工艺控制设备供货商之一，其产品广泛地应用于各种半导体器件生产、平板显示器、光学储存介质、玻璃镀膜、光电、制药和医学成像设备。我们为MKS香港、中国及菲律宾的授权经销商

产品包括:

种类	产品	应用
流量测量及控制	质量流量控制器质量流量计	For precision gas flow control for vacuum process
压力测量	Baratron®薄膜电容式高精度压力传感器	测量真空舱及抽气管道的工作压力
压力测量	压力传感器/质量流量控制器电源和显示仪	测量真空舱及抽气管道的工作压力
氦气检漏仪	PICO® 手提式氦气检漏仪 (7.7公斤)	直空舱检漏
残余气体分析仪		实时检查工艺时真空舱的气体成分
真空零件	不锈钢真空管道和连接件真空阀门 (加热功能可选) 蝶阀(用于下游压力控制)	一般真空用部件
离子发生器	ASTRON®离子发生器	用NF3 等离子清洗PECVD腔体, 减少维护时间, 增大产能

臭氧发生器	SEMOZON™臭氧发生器	用于晶体硅电池片清洗及去除有机物
电源	直流电源射频电源及阻抗匹配器	PECVD等真空设备离子源上使用