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Kayex - 硅 / 锗单晶生长炉

Kayex - 硅 / 锗单晶生长炉
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产品价格： < 面议
产品型号：
品 牌：其它品牌
公司名称：岱美有限公司
所 在 地：上海
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产品简介

Kayex - 硅 / 锗单晶生长炉

产品详细信息

1. KX-100PV

太阳能单晶硅生长炉
产能*大化
节约成本
支持20寸热场

规格
 

    单晶直径

    150-200 mm (6-8”)

    副室高度

    1750 mm 

    喉管直径

    305 mm

    炉室直径

    865 mm

    籽晶提升速率

    0-508 mm/hr

    籽晶快速提升速率

    508 mm/min

    坩埚*大行程

    380 mm

    坩埚提升速率

    0-254 mm/hr

    坩埚提升速率

    50.8 mm/min

    籽晶旋转速率(可逆)

    0-50 rpm

    坩埚旋转速率(可逆)

    0-20 rpm

    主真空泵抽速

    5660 l/min (200 cfm)

    坩埚旋转速率(可逆)

    990 l/min (35 cfm)

    投料量

    90 kg

    二次投料量

    115 kg


2. KX100-Ge 

锗单晶生长炉 
产能*大化 
节约成本 
支持20寸热场 

规格：
 

单晶直径

150-200 mm (6-8”)

副室高度

1750 mm 

喉管直径

305 mm

炉室直径

865 mm

籽晶提升速率

0-508 mm/hr

籽晶快速提升速率

508 mm/min

坩埚*大行程

380 mm

坩埚提升速率

0-254 mm/hr

坩埚快速提升速率

50.8 mm/min

籽晶旋转速率(可逆)

0-50 rpm

坩埚旋转速率(可逆)

0-20 rpm

主真空泵抽速

5660 l/min (200 cfm)

辅真空泵抽速

990 l/min (35 cfm)

投料量

120 kg

 

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