First Nano - 水平型扩散炉 Model Easytube 6000

太阳能电池应用： 
a-Si, mc-Si 镀膜。 
各种TCO 镀膜，例如ZnO, SiO2, TiO2。 
p-n掺杂 (Doping)。 
回火 (Annealing)。 
各种抗反射镀膜，例如 : SiN, SiO2。

MEMS应用： 
用于掺杂、扩散、氧化、回火、镀膜 …等制程之水平炉管，提供批次式4” 至 12” 晶圆、单层至四层系统。

奈米碳管、奈米线及奈米镀膜应用： 
-  CNTs、Si, SiGe, ZnO, …等等。

其它产品包括：

PECVD、LPCVD、UHVCVD。 
水平炉管 (Diffusion Furnace)。 
快速温度处理系统 (Rapid Temp. Processing)。 
MOCVD, LPE, VPE (适用于LED、GaN, III-V族 磊晶)。 
HCL Etching system (专门清洁MOCVD之susceptor)。 
废气处理系统。 
石英产品之生产、维修。

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http://www.firstnano.com/products/easytube6000/docs/ET6000.pdf