FSM - FSM360 全自动紫外线芯片应力测量仪
产品简介
FSM - FSM360 全自动紫外线芯片应力测量仪
产品详细信息
FSM360是一台全自动紫外线——可见光Raman仪器,主要用与测量芯片应力。
利用微米直径光斑照射。
芯片会产生另外一个光束(Raman信号),Raman信号的频率有别于原来的光源。
从Raman信号频率我们可以测出样本的应力大小。
![](http://www.dymek.com/24/dmgyyq/edit_file/image/2012-12-7/2012120715352252.jpg)
紫外线Raman主要用于薄膜或样本表面的应力测量。
可见光Raman主要用于多层薄膜或厚样本的应力测量。
![](http://www.dymek.com/24/dmgyyq/edit_file/image/2012-12-7/2012120715365110.jpg)
FSM - FSM360 全自动紫外线芯片应力测量仪