AEP NanoMap 1000WLI 光学轮廓仪 NanoMap 1000WLI

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产品型号：NanoMap 1000WLI

品牌：其它品牌

公司名称：岱美有限公司

所在地：上海

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产品简介

AEP NanoMap 1000WLI 光学轮廓仪: 美国AEP 公司专注于表面测量技术开发与应用, 其生产的台阶仪和光学轮廓仪, 厚度、粗糙度、孔深 …等三维空间尺寸测量，并适用于多种产业，例如 : 芯片封装、MEMS 、电路板、 LED、LCD。同时AEP亦开发出实时应力分析及镀膜后的应力测量设备, 以满足高新行业产品微日渐小化与高精度的要求.

产品详细信息

产品简介：

美国AEP 公司专注于表面测量技术开发与应用, 其生产的台阶仪和光学轮廓仪, 厚度、粗糙度、孔深 …等三维空间尺寸测量，并适用于多种产业，例如 : 芯片封装、MEMS 、电路板、 LED、LCD。同时AEP亦开发出实时应力分析及镀膜后的应力测量设备, 以满足高新行业产品微日渐小化与高精度的要求.

NanoMap 1000WLI 光学轮廓仪(形貌仪)特点:

非接触式测量高度、深度、粗糙度等

° 高精度

° 快速测量

° 简易的操作界面

° 两种模式满足不同应用:

Phase Shift Mode (PSI): 平滑表面测量

White Light Scanning Mode (WLI): 粗糙表面测量

° 同时可选台阶仪和光学轮廓仪的功能，节省空间, 台阶仪更备有高精度压电陶瓷扫瞄

° 测量数据兼容功能强大的SPIP 分析软件

° 长寿命LED 光源(＞15年）

° 标配150mm 样品台, 200mm或更大可选

° 另有全自动型号

150mm×150mm

NanoMap 8001 大尺寸生产用

规格
RMS 重复性	0.5 nm (WLI模式）
RMS 重复性	0.02 nm (PSI模式)
垂直分辨率	< 1 nm
视场	100 nm － 2 mm
像素	200 万
垂直扫瞄范围	*大10 mm