硅芯片检查显微镜 LW300MT
产品简介
LW300MT硅芯片检查显微镜专为微电子行业量身定做，适用于硅、砷化镓、磷化铟等基片6″8″盘的生产工艺检查；可以方便的快移和**的位移检查；也可以适用其它需较大面积标本的工艺检查
产品详细信息
LW300MT硅芯片检查显微镜技术参数
规格
目 镜: 10X 广角目镜, 焦距25 mm, 视场数Φ22 mm。
三目镜: 30°倾斜，瞳距：53~75 mm。
物 镜: 无限远平场消色差明/暗视场物镜 (无盖玻片)
放大倍数 | 数值孔径 | 工作距离(mm) | 备注 |
5X | 0.12 | 9.70 | |
10X | 0.25 | 3.73 | |
20X | 0.40 | 7.23 | |
40X | 0.60 | 3.04 |
转换器: 四孔滚珠内定位转换器。
载物台: 双层机械式载物台, 尺寸：210 X 140 mm，移动范围：75 X 50 mm。
聚光镜: 阿贝聚光镜（带孔径光栏, 数值孔径1.25）。
调焦机构：粗微同轴调焦，粗动手轮松紧可调，带限位锁紧装置，微动格值2μm/格。
照 明: 上光源（落射照明）12V50W卤素灯，亮度可调。
下光源（透射照明）12V30W 卤素灯，亮度可调。
电 源：输入电源电压 (85~265V 50/60Hz)。
技术参数
目 镜: 10X 广角目镜, 焦距25 mm, 视场数Φ22 mm。
三目镜: 30°倾斜，瞳距：53~75 mm。
物 镜: 无限远平场消色差明/暗视场物镜 (无盖玻片)
放大倍数 | 数值孔径 | 工作距离(mm) | 备注 |
5X | 0.12 | 9.70 | |
10X | 0.25 | 3.73 | |
20X | 0.40 | 7.23 | |
40X | 0.60 | 3.04 |
转换器: 四孔滚珠内定位转换器。
载物台: 双层机械式载物台, 尺寸：210 X 140 mm，移动范围：75 X 50 mm。
聚光镜: 阿贝聚光镜（带孔径光栏, 数值孔径1.25）。
调焦机构：粗微同轴调焦，粗动手轮松紧可调，带限位锁紧装置，微动格值2μm/格。
照 明: 上光源（落射照明）12V50W卤素灯，亮度可调。
下光源（透射照明）12V30W 卤素灯，亮度可调。
电 源：输入电源电压 (85~265V 50/60Hz)。
仪器维护
1. 擦拭机体与载物台面
擦拭前应从主电源插座中拔掉电源插头，确保仪器电源断开。然后用干净柔软的抹布蘸少许中性清洁剂擦拭机体与载物台面。使用仪器前要请确认仪器干燥。
2. 擦拭光学部件
显微镜中的目镜、物镜中的镜片都有镀膜。请不要在非常干燥或大灰尘的环境下擦拭。擦拭时首先把可见的灰尘吹去，然后用棉签或抹镜纸蘸少许镜片清洁剂或无水酒精擦拭镜片表面，不可使用如二甲苯之类的溶剂擦拭镜片。
3. 切勿随意拆卸显微镜！
显微镜是精密光学仪器，各零部件切勿随便拆卸，以免损害其操作效能和精度。如有故障应送专业维修部门或与供应商联系。
4. 不使用仪器时！
仪器不使用时，用有机玻璃或聚乙烯罩子罩上，并存放在干燥与没有霉菌滋生的地方。物镜和目镜*好放在有干燥剂的密闭容器中。
产品标签
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