6"等离子清洗机EQ-PDC-001 EQ-PDC-001

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产品价格： < 面议

产品型号：EQ-PDC-001

品牌：其它品牌

公司名称：厦门迈凯伦精瑞科仪有限公司

所在地：福建厦门

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产品简介

6"等离子清洗机EQ-PDC-001
EQ-PDC-001是一款腔体尺寸较大的等离子清洗机，其等离子腔体尺寸为 6"dia x 6.5"。特别适合对有机物和基片表面进行清洗，同时可以向腔体通入不同的气体（如氧气和惰性气体等），从而产生不同气氛的等离子体以满足实验需要。在高射频工作状态下起表面脏物移出速率高达20nm/min.对于在薄膜生长前对基片进行预处理，此款设备极为理想。

产品详细信息

6"等离子清洗机EQ-PDC-001
EQ-PDC-001是一款腔体尺寸较大的等离子清洗机，其等离子腔体尺寸为 6"dia x 6.5"。特别适合对有机物和基片表面进行清洗，同时可以向腔体通入不同的气体（如氧气和惰性气体等），从而产生不同气氛的等离子体以满足实验需要。在高射频工作状态下起表面脏物移出速率高达20nm/min.对于在薄膜生长前对基片进行预处理，此款设备极为理想。

技术参数

输入功率	AC 110V , 50/60 Hz, < 200W
输出频率	13.56 MHz
功率	●低档716V DC 10 mA DC 7.2 W ●中档720V DC 15 mA DC 10.5W ●**740V DC 40 mA DC 30 W
等离子腔体	尺寸：6" dia x 6.5" l 石英腔体
真空泵和阀	●仪器中包括有一双极旋片泵，2XZ-2，抽气速率为2L/s, ●泵上安装有一个不锈钢针阀，其接口为宝塔嘴接头
通入的气体	腔体中可以通入多种气体，如N2, Ar, Air ，也可以通入多种混合气体，以满足实验需要，不可以通入可燃性气体进入等离子腔体中
可选配件	●如果基片的直径为2"和4"，可以选购石英架，每个石英架上可以放25片 ●数字式真空显示计，可以**显示石英腔体内的真空度
外型尺寸	11" H x 18" W x 9" D
细节图（点击查看大图）
质保期	一年质保 ( 不包括石英腔体和密封圈)
质量认证	CE Certified