FCVD系统 FCVD

德国ARNODLD自光纤发展以来总是提供MCVD和PCVD基础车床,比如: SEL, Stuttgart; IPHT; Philips, Eindhoven; Schott, Mainz; 从事独立研发过程,2005年收购HEATHWAY公司，并与LOGITEX公司合作，我们现在可为研发过程提供完整的不锈钢气柜系统和光纤拉丝塔。
通用玻璃车床，自动化气体供应和混合系统，Restoxyd室控制内部压力，MCVD车床上可安装的感应电炉，成为FCVD系统感应电炉移动架。
MCVD系统用的喷灯可通过快速接头拆卸，感应电炉移动架可方便将感应电炉移入设备中间安装位置。成为FCVD系统。

MFC质量流量计规格:
数字ProfiBus MFC
典型精度:   ±1%，设定点为20~100% 满量程　
典型精度:   ±0.2%，为2~２0% 满量程
重复性：    ± 0.3% 读数
分辨率：  0.1%满量程
工作温度： 10°C ~ 50°C (环境)

FCVD系统中气体浓度测量系统： (另选）
3个“Lorex” 气体传感器，测量SiCl4, GeCL4, POCl3液气掺杂物。
通常我们测量重量：xx mg/min 液气（PoCl3, GeCl3, SiCl4)在载气（氧气）中重量。但你也可以计算体积和百分比。
气体浓度传感器/输送控制系统 可重现蒸气输送控制的行业标准。气体浓度传感器已成为半导体制造行业的行业标准，可用于在 CVD 和 MOCVD 工艺流程中，高精度监控前体化学蒸气和掺杂气体，从而实现可重现的输送控制。经生产验证该系统能为您提供：通过严格控制制程气体和前体化学蒸气的输送，提高工艺的可重现性和良率。通过更高效地利用前体化学品、更充分地利用前体化学源、降低气体流向排气口的时间，从而降低工序成本。通过获取设备和工艺工程师可直接读取的定量信息，设备间的匹配更为简便。通过内置诊断工具，为气体和蒸气输送系统的故障排除提供帮助。
气体浓度测量系统
改进过程重复性
增加产量
低成本操作
使得工具-工具匹配方便
方便错误诊断，优化气体传送系统