白光干涉仪 WLI1000

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产品型号:WLI1000
 牌:Rtec
公司名称:南京冉锐科技有限公司
  地:江苏南京
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产品简介

本公司的WLI1000白光干涉仪测量系统沿着纵轴捕获一系列位置的光强数据。通过白光干涉图的形状,干涉图的局部相位或者是二者的结合来确定表面位置。本公司还有激光共焦,白光共焦,拉曼光谱仪等,可以把这些设备自由组合在一起,以实现客户的不同需求

产品详细信息

白光干涉测量系统沿着垂直轴向捕获光强数据,通过白光干涉图的形状,局部相位或者两者结合确定表面位置

Vertical Resolution
垂直分辨率
0.1nm
0.1nm
Turret
转轮
upto 6 objective turret (manual or automatic)
6镜头转轮(自动或手动)
Scan Range
扫描范围
Up to 150mm x 150mm
*高达150mmx150mm
Sample thickness
试样厚度
upto 100mm
*高达100mm
FOV
视场
upto 10mm
*高达10mm
Objectives
物镜
10x,50x
10倍,50倍
Z focussing range
Z轴方向聚焦范围
  1. nm to 10mm

  2. 0.1nm到10mm

Scanning area
扫描区域
150x150mm
 150x150mm
Tilt
倾斜角
+/- 7 degree
+/-7度
Rotation (theta)
平台旋转范围
360 Degree
360度
Pixel
像素
Standard 1024 x 1024
标准1024x1024


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