白光干涉仪 WLI1000
产品简介
本公司的WLI1000白光干涉仪测量系统沿着纵轴捕获一系列位置的光强数据。通过白光干涉图的形状,干涉图的局部相位或者是二者的结合来确定表面位置。本公司还有激光共焦,白光共焦,拉曼光谱仪等,可以把这些设备自由组合在一起,以实现客户的不同需求
产品详细信息
白光干涉测量系统沿着垂直轴向捕获光强数据,通过白光干涉图的形状,局部相位或者两者结合确定表面位置
Vertical Resolution 垂直分辨率 |
0.1nm 0.1nm |
Turret 转轮 |
upto 6 objective turret (manual or automatic) 6镜头转轮(自动或手动) |
Scan Range 扫描范围 |
Up to 150mm x 150mm *高达150mmx150mm |
Sample thickness 试样厚度 |
upto 100mm *高达100mm |
FOV 视场 |
upto 10mm *高达10mm |
Objectives 物镜 |
10x,50x 10倍,50倍 |
Z focussing range Z轴方向聚焦范围 |
|
Scanning area 扫描区域 |
150x150mm 150x150mm |
Tilt 倾斜角 |
+/- 7 degree +/-7度 |
Rotation (theta) 平台旋转范围 |
360 Degree 360度 |
Pixel 像素 |
Standard 1024 x 1024 标准1024x1024 |