综合型分析探针台

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产品型号：

品牌：semishare

公司名称：深圳市森美协尔科技有限公司

所在地：广东深圳

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产品简介

型号		SH-6	SH-8	SH-12
外形		820mm长*720mm宽*890mm高	960mm长*850mm宽*900mm高	1300mm长*920mm宽*920mm高
重量		170公斤	约230公斤	约300公斤
电力需求		220VC,50~60Hz		
样品台	尺寸	6英寸，可360度旋转	8英寸，可360度旋转	12英寸，可360度旋转
	行程	X-Y行程6*6英寸	X-Y行程8*8英寸	X-Y行程12英寸*12英寸
	移动精度	1um		
	样品固定方式	真空吸附		
	背电极测试功能	有，样品台电学独立悬空		
针座平台	规格	U型平台，*多可放置6个针座	U型平台，*多可放置10个针座	U型平台，*多可放置12个针座
	行程&调节方式	平台可以快速升降，行程 6mm并带自动锁定功能;可以上下微调，行程25mm，升降精度1um		
光学特性 	显微

产品详细信息

型号		SH-6	SH-8	SH-12
外形		820mm长720mm宽890mm高	960mm长850mm宽900mm高	1300mm长920mm宽920mm高
重量		170公斤	约230公斤	约300公斤
电力需求		220VC,50~60Hz
样品台	尺寸	6英寸，可360度旋转	8英寸，可360度旋转	12英寸，可360度旋转
	行程	X-Y行程6*6英寸	X-Y行程8*8英寸	X-Y行程12英寸*12英寸
	移动精度	1um
	样品固定方式	真空吸附
	背电极测试功能	有，样品台电学独立悬空
针座平台	规格	U型平台，*多可放置6个针座	U型平台，*多可放置10个针座	U型平台，*多可放置12个针座
	行程&调节方式	平台可以快速升降，行程 6mm并带自动锁定功能;可以上下微调，行程25mm，升降精度1um
光学特性	显微镜行程	X-Y轴行程2英寸*2英寸，Z轴：50.8mm
	显微镜移动精度	1um
	切换镜头方式	显微镜快速倾仰30度注1
	放大倍数	20~4000X
	镜头规格	目镜：10X；物镜：5X,10X,20X,50X、100X（选配）
	CCD像素	50W（模拟）/200W（数字）/500W（数字）
点针规格	X-Y-Z行程	12mm-12mm-12mm/8mm-8mm-8mm
	机械精度	10微米/2微米/0.7微米/0.1微米
	漏电精度	10pA/100fA （配置屏蔽箱时）
	接口形式	香蕉头/鳄鱼夹/同轴/叁轴接口
应用方向		晶圆测试，光电器件测试，PCB/封装器件测试，射频测试，高压/大电流测试等
可选附件		卡盘快速拉出装置
		显微镜倾仰装置（倾仰30度）
		显微镜气动升降装置
		激光微加工
		探针卡夹具
		显微镜暗场/DIC/Normarski 检测光强/波长测试接口部件
		液晶热点侦测套装
		高压/大电流测试套装
		带真空底座的活动Chuck
		加热台
		高低温样品台
		屏蔽箱
		转接头
		防震台
		镀金卡盘
		同轴叁轴卡盘
		样品台快速升降，微调升降装置选件
		样品台旋转微调选件
		光强/波长测试选件
		射频测试附件
		有源探头
		低电流/电容测试
		兼容积分球测试选件
		光纤夹具耦合测试选件
		封装器件夹具
		PCB/封装夹具测试选件
		特殊定制