产品简介
特点
失效分析实验室专用 大手柄驱动,操作舒适,无回程差设计,定位准确
可做LC液晶热点侦测 激光*小可加工精度1*1um
激光可选择性去除特定材料而不损伤下层 芯片内部线路/电极/PAD测试
适用于IC/面板内部线路修改/去层 射频特性器件失效分析
可升级用于12英寸以内样品测试 材料/器件的IV/CV特性测试及失效分析
产品详细信息
规格
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FA-8
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FA-8-SC
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外形
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960mm长*850mm宽*1500mm高
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880mm长*860mm宽*1550mm高
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重量
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约260KG
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约280KG
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电力需求
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220VC,50~60Hz
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样品台
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尺寸
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8英寸,可360度旋转
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行程
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X-Y行程8*8英寸
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移动精度
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1um
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样品固定方式
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真空吸附
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真空吸附
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温控范围
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-
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﹣80~200℃
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快速拉出
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-
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有
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特殊运用
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电学独立悬空,可作为背电极使用
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针座平台
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规格
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U型平台,*多可放置10个针座
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O型平台,*多可放置12个针座
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行程&调节方式
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平台可以快速升降,行程 6mm并带自动锁定功能;可以上下微调,行程25mm,升降精度1um
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光学特性
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显微镜行程
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X-Y轴行程2英寸*2英寸,Z轴:50.8mm
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X-Y轴行程1英寸*1英寸,Z轴:50.8mm
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放大倍数
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20~4000X
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镜头切换时操作
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快速倾仰
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气动升降
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CCD像素
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50W(模拟)/200W(数字)/500W(数字)
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50W(模拟)/200W(数字)/500W(数字)
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激光特性
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波段
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波长可选择1064/532/355/266nm波段
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功率
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输出功率2.2mJ/pulse
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微加工能力
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可加工材质:Cr/Al/ITO/Ni/TFT/RGB/Poly Silicon/Mo/SiN/CF内杂质等
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精度
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*小可加工精度1*1um(配置100X镜头时)
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冷却方式
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可选择风冷激光或水冷激光
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点针规格
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X-Y-Z行程
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12mm-12mm-12mm/8mm-8mm-8mm
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机械精度
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2微米/0.7微米/0.1微米
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漏电精度
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10pA/100fA (配置屏蔽箱时)
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接口形式
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香蕉头/鳄鱼夹/同轴/叁轴接口
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可选附件
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卡盘快速拉出装置
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卡盘快速拉出装置
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液晶热点侦测套装
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液晶热点侦测套装
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高压/大电流测试套装
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高压/大电流测试套装
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加热台
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-
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屏蔽箱
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屏蔽箱
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转接头
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转接头
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防震台
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防震台
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镀金卡盘
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镀金卡盘
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同轴叁轴卡盘
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同轴叁轴卡盘
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样品台快速升降,微调升降装置选件
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-
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光强/波长测试选件
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光强/波长测试选件
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射频测试附件
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射频测试附件
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有源探头
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有源探头
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低电流/电容测试
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低电流/电容测试
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光纤夹具耦合测试选件
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光纤夹具耦合测试选件
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封装器件夹具
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封装器件夹具
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PCB/封装夹具测试选件
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PCB/封装夹具测试选件
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特殊定制
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特殊定制
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应用方向
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常温和高低温环境下的芯片失效分析
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