产品简介
本系统是集成keithley 2400/2600系列高精度源表和semishare Polaris 高低温平台采用范德堡尔法则设计的应用于高精度的测量半导体材料的载流子类型(P型/N型),载流子浓度,迁移率,电阻率,霍尔系数等参数。能够适用于 Si,SiGe,SiC,GaAs,InGaAs,InP,GaN等各种材.
产品详细信息
简介
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本系统是集成keithley 2400/2600系列高精度源表和semishare Polaris 高低温平台采用范德堡尔法则设计的应用于高精度的测量半导体材料的载流子类型(P型/N型),载流子浓度,迁移率,电阻率,霍尔系数等参数。能够适用于 Si,SiGe,SiC,GaAs,InGaAs,InP,GaN等各种材.
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软件操作环境
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Windows 98 / ME / 2000 / NT / XP环境下
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有效电流输出范围
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6nA~100mA
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有效电压测量范围
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-5~5V
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载流子浓度
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107 – 1021
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concentration(/cm3)
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迁移率Mobility(cm2/Vs)
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1~107
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电阻率Resistivity (Ohm.cm)
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10-4 - 107
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A/B ratio
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ok
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RHD(cm3/C)
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Ok
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RHC(cm3/C)
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Ok
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RH(cm3/C)
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Ok
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Sheet Resistance(Ohm)
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Ok
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温度
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温度(K):常温和77K 两个温度点
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Option:77K~500K ,0.1摄氏度精度,可通过程序设定
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仪器尺寸和重量
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主机尺寸
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89mm 高 × 213mm 宽 × 370mm 长
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重量
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3.21kg
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工作环境要求
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0°–50°C, 70%R.H.
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存储环境要求
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–25°C to 65°C
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范德堡尔法则终端转换器
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200×120×110 mm (W×H×D)
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净 重
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7.7千克
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测量材料
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Si, SiGe, SiC, ZnO, GaAs, InGaAs, InP, GaN, ITO等所有半导体薄膜(P型和N型);
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