微型激光干涉仪 ZLM900LSI

产品功能

位移及角度变化的单独测量或同步测量，*多可实现六轴联动。

系统特点

• 该系统为微型双频激光干涉仪，紧凑型设计，激光源与数据处理器集中在一个控制盒内；
• 外差式激光器；
• 多种小型的干涉镜供用户选择；
• 系统安装方便，光路调整简单；
• 光纤耦合器附件灵活多样，防护等级为I级；
• 干涉镜亦适合在高真空环境下使用；
• 根据用户的要求，可提供个性化测量解决方案；
• *高采样速度40MHz；
• 数字式可调分辨率（80nm/40nm/20nm/10nm），A-quad-B脉冲信号；
• 模拟量输出信号：正弦、余弦、-正弦、-余弦；
• 常数上下计数器2 –Wire（0°/90°）（可选）。

技术参数

应用光路图

                                            位移测量的系统构成

                                       位移及角度同步测量的系统构成

                                            机床行业的应用

部件选择

英文样本资料下载

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