3D激光干涉仪 ZLM900-3D
产品简介
ZLM900-3D激光干涉仪由德国JENAer耶拿尔公司生产,为三轴外差式双频激光干涉仪,用于位移、俯仰角和偏摆角的测量,主要用于运动平台等微位移的测量和检测,角度变化量的监测等。
产品详细信息
3D激光干涉仪--同步测量被测物体的位移、偏摆角和俯仰角 | ||||||
世界范围内,同类产品中效率精度*高的干涉仪。
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上图为从一个坐标轴方向同步测量物体的位移、偏摆和俯仰角光路图
上图为一个具体的3-轴干涉镜和3-轴反射镜系统,光束由激光头发出后进入干涉镜,3-轴干涉镜把输入的光束分为三个部分:
信号光束1用于位移的测量,信号光束2用于俯仰角的测量,信号光束三用于偏摆角的测量。
所有的光束照射到被测物体(3-轴反射镜固定在被测物体上)后再次反射到干涉镜上,每个信号光束与反射的光束进行干涉,然后干涉光束传输到激光头里,进行信号分析后进入到软件里。
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三轴测量软件(位移、偏摆和俯仰角) | ****的设定 |
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测量结果的统计 | 在位置5开始测量 |
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位移和角度的完全测量 | ISO230数据统计标准 |
视频演示
技术参数
位移测量范围 |
15 m |
位移测量分辨率 |
1.25 nm |
位移测量精度 |
+/-0.4 ppm(需使用环境补偿器) |
位移测量*大速度 |
2 m/s |
位移速度测量精度 |
1 ppm |
角度测量范围 |
+/-10° |
角度测量分辨率 |
0.006 arc second |
角度测量精度 |
+/-0.1 ppm(角度沿某中心旋转) +/-0.02%+/-0.5+/-0.1M(M=轴向标定距离,单位为米) |
角度测量*大速度 |
90 rad/s |
角速度测量精度 |
1 ppm |
资料下载
系统应用简介.pdf
双频激光干涉仪综合样本.pdf