硅蓝宝石压力传感器 硅蓝宝石压力传感器

硅蓝宝石压力传感器主要用于制造变送器。其中包括**压力、表压、差压、流量变送器，也用于控制和调节系统，广泛用于矿山、采炼油、供水、供气、汽车、飞机、航天等领域。

原理是基于硅的应变电阻效应。在蓝宝石衬底上硅敏感元件构成灵敏的应变计电路由4个有效的敏感应变计的惠斯登电桥。蓝宝石膜片与高弹性合金膜片固封为一体，流体压力作用于这种一体的双膜结构使电阻应变计变化，并将这种变化转换为电信号。采用微电子加工方法做成的这种双膜结构，便于保证重复性和可靠性(压力不泄漏)。蓝宝石膜片与金属膜片是在高真空下，用静电或其它分子键合方法封接为一体的，保证了在很宽的温区内具有很小的机械滞后(0.05％)和使传感器具有长期稳定性(在大信号输出情况下<0.1%/6个月)。