扫描式电子显微镜技术参数

放大倍數: 5-300，000倍
解 析 度: 高真空：3nm(30KV)/8nm(3KV)/15nm(1KV) 低真空:4.0nm(30KV)
電 子 槍: 全自動，亦可手動調整
樣 品 台: 大全對中型X=80mm，Y=40mm，Z=5到48mm，傾斜：-10 - +90度，旋轉：360度
燈 絲: 工廠預對中燈絲（鎢）
圖像模式: 二次電子像，成份像，拓撲像，陰影像
加速電壓: 5-30KV
聚 光 鏡: 可變焦聚光鏡
物 鏡: 超級錐形物鏡
物鏡光闌: 3檔，X-Y可細調
電 位 移: ±50微米
自動功能: 聚焦，亮度，襯度，消像散
*大樣品: 直徑：150mm
樣品交換: 抽拉式樣品台
真空系統: 全自動擴散泵DP。分子泵TMP（選購）
作業系統: Windows XP

主要特点

1. 強大的電子光學系統，簡單操作
*新設計的超級圓錐型物鏡，保證3nm的解析度。很容易得到高品質照片。
廣域掃描線圈可以得到*低5倍的放大倍數從而提高觀察樣品的效率。
**的電子光學系統可以在大束流下形成小束斑，有利於微區分析。
2. 高解析度
JSM6390系列超級圓錐形物鏡，在工作距離8mm時的解析度為3nm，超級圓錐形物鏡的外形設計可以做到短工作距離情況下樣品仍然可以大角度傾斜。
3. 全自動電子槍
JEOL開發的全自動電子槍能夠產生極小電子束源，只要選擇好加速電壓，就可以進行觀察或成分分析。
電子槍偏壓是調節電子槍亮度的重要部件。JEOL的無縫自給加壓系統能隨著電壓變化隨時調整偏壓，使得無論選擇哪個加速電壓，都能得到*佳亮度。
JEOL獨有的像散記憶功能能夠自動糾正隨加速電壓或工作距離改變而產生的像散。
4. 多圖顯示模式
主顯示區可以同時顯示兩幅即時圖像，分別為二次電子像和背散射電子像，參考區也可 顯示２幅即時圖像，例如二次電子圖像，背散射電子圖像或者ＣＣＤ相機圖像。
雙即時顯示模式可以用於不同信號圖像的對比，用戶可在觀察表面形貌的同時瞭解樣品的成份分佈情況。
選用多種圖像顯示模式時，點擊"PHOTO"按紐可同時獲得並存儲2或3幅全屏尺度圖像。
5. 簡單易懂的操作介面及功能表
操作介面簡單，直觀，默認的操作介面顯示了*常用的功能按鈕，並以簡單圖文標明，點擊滑鼠即可操作所有功能。
即時量測，圖片上的長度和角度等結構細節能在顯示器上進行測量。
6. 可變焦聚光鏡修正
做表面觀察和元素分析等不同應用時，選擇合適束流非常重要，一般是通過聚光鏡與物
鏡光闌來控制電子束流的。如果在調整束流過程中，焦點和觀察區域位移變化很小，調 整起來會比較方便。JEOL獨有的可變焦聚光鏡可以保證這一點。
7. 全對中樣品台
當樣品台傾斜時，全對中樣品台可使圖像位移和焦點變化*小。使用此樣品台可多方向觀察粗糙表面樣品，採用一些不同角度攝取的圖片組成立體圖片，可通過立體圖片觀察深度。
焦點在樣品傾斜後X，Y或旋轉方向運動時變化很小，這樣使大樣品巡覽效率很高。
8. 低真空SEM
低真空掃描電鏡，除了包括高真空模式外，還包括低真空模式，在低真空模式下，不導電樣品以及容易放氣的樣品都可以直接觀察。結合JEOL獨有的冷凍乾燥技術，可在低真空模式下快速觀察含水樣品。

分析方法

1.如何启动SEM
2.更换样品操作
 

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