电动位移台 KTM40,LTM45

产品简介

技术参数：

电动位移台系统包括：线性位移台，XY位移台，升降位移台，旋转位移台，角位台，滤光轮，控制系统(步进电机/直流伺服) 
类型： 行程(mm) 负载 加速度 重复定位精度 定位误差 垂直偏差 横向偏差 
XY位移台:5.5 10N 0.2mm/s <20um <30um/100mm <2um <2um 
精密XY 行程(mm) 负载 加速度 重复定位精度 定位误差 垂直偏差 横向偏差 
位移台： 30 150N 40mm/s <2um <30um/100mm <5um <4um 
紧凑精密 行程(mm) 负载 加速度 重复定位精度 定位误差 垂直偏差 横向偏差 
XY位移台：50-130 40N 10mm/s <15um <15um/100mm <4um <4um 
紧凑高精 行程(mm) 负载 加速度 重复定位精度 定位误差 垂直偏差 横向偏差 
密XY位移

产品详细信息

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