可调衰减器
ML2100 / ML2150 VariLux 连续可调节激光光束衰减器,特别用于高能量准分子激光器
ML2200 VacuLux - 可变激光光束衰减器,用于真空或者气体净化条件
size ca. 40x40x60 mm³ max. power 5 W C-mount
157 nm
193 nm
> 70 %
> 80 %
< 2 %
< 1%
0,2 J/cm2
1,0 J/cm2
ML2300 PolarLux 小型化高能量衰减器
2 GW/cm²
30 J/cm² @ 15 ns, 1Hz
中性滤光片absorbing and metallic