uPG 101 G5993F272E6AC4
产品简介
uPG 101 是很经济，容易去用微型发生器进行直写应用和低容量掩模制作的一个系统。这个系统可运用的应用有，微电子机械系统、生物微系统、集成光学、微流道或者其他需要高分辨率的微型系统。他的面积很小只有60*1875px^2，独特的紧凑结构，使得所有的电子分量都可以完整的包含在这个系统中。个人电脑可以用来控制这个系统，这个基于操作软件的图形用户界面使用户更容易去进行设计，生成目录，自动对准和生成曝光。
产品详细信息
uPG 101
uPG 101 是很经济，容易去用微型发生器进行直写应用和低容量掩模制作的一个系统。这个系统可运用的应用有，微电子机械系统、生物微系统、集成光学、微流道或者其他需要高分辨率的微型系统。他的面积很小只有60*1875px^2，独特的紧凑结构，使得所有的电子分量都可以完整的包含在这个系统中。个人电脑可以用来控制这个系统，这个基于操作软件的图形用户界面使用户更容易去进行设计，生成目录，自动对准和生成曝光。
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重要特征选项
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*小基板尺寸 6”x 6”
\n*小庙会尺寸0.6um
\n*小描绘网格20nm
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基本灰度曝光模式
实时自动对焦系统
\n标准或者紫外二级管激光源
\n矢量和栅格曝光模式
\n可交换的写模式
\n摄像系统的一致性
\n多种数据输入模式
\n技术参数
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写入模式 \n |
1 \n |
2 \n |
3 \n |
4 \n |
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*小结构大小（um） \n |
0.6 \n |
1 \n |
2.5 \n |
5 \n |
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写速度（mm^2/min） \n |
1 \n |
5 \n |
35 \n |
90 \n |
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地址网格（nm） \n |
20 \n |
40 \n |
100 \n |
200 \n |
|
边缘粗糙度（3σ，nm） \n |
100 \n |
120 \n |
200 \n |
400 \n |
|
线宽均匀度（3σ，nm） \n |
150 \n |
200 \n |
400 \n |
800 \n |
|
线条测量精度（3σ，nm） \n |
200 \n |
200 \n |
400 \n |
800 \n |
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