质量流量计
流量範圍 3Sccm~30Slpm *大的入口壓力 150psig(Max1500psig) 操作壓力正常範圍 5~50psid 控制範圍 50~1 準確選擇(類比) ±1.0% of F.S 線性 In Accuracy 重複性 ±0.25% of F.S 反應時間 Flow signal:<0.3sec 溫度系數 ±0.1% F.S/°C(N2) 正常的工作溫度範圍 5°C to 65°C 輸入電壓 ±15VDC 350mA 類比輸入/輸出信號 0~5Vdc 連接器類型 15-pin D-sub 本體材料和封條類型 SS 316L & Viton ,Buna-N , Kalrez 漏率標準 1*10¯9 atm scc /sec He 管路接頭型式 1/4"VCR,1/4"SWG 1/4"VCO,3/8"SWG