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LC残余气体分析仪 LC　

LC残余气体分析仪 LC　
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产品价格： < 面议
产品型号：LC　
品 牌：
公司名称：美国阿美特克有限公司过程和分析仪器部
所 在 地：北京通州
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产品简介

LC残余气体分析仪

产品详细信息

  • 技术参数
  • 质量数测量范围:1-100AMU/1-200AMU
    样品压力范围:10exp-4Torr至高真空
    *小可检分压：5exp-12Torr;如使用电子倍增器,*小可检分压降至5exp-14Torr
    分辨率:0.5AMU(10%峰高)
    灯丝发射电流:0.1-10mA;除气时50mA
    电子能量:30-150V,除气时200V
    离子能量:1-10V
    灵敏度:2exp-4A/Torr(法拉第筒);测量条件是氮气的分子离子峰,0.5AMU峰宽(10%峰高),1mA发射电流
    稳定性:质量数 ±0.1AMU(30分钟预热)
    峰高 ±2%(30分钟预热)
  • 主要特点
  • 性能出色,价格很有竞争力,非常适用于半导体和薄膜沉积过程中的检漏和残余气体分析
    软件支持多种数据显示方式
    四极杆参数可自动优化
    内置谱图,帮助确认组分
  • 仪器介绍
  • LC系列有出色的性能价格比,非常适用于过程压力低于10exp-4Torr的检漏和残余气体分析;使用开放式离子源,质量数测量范围1-100AMU或1-200AMU,数据有多种显示模式:质谱图,棒状图(省略分辨率信息),趋势图(信号随时间的变化),检漏模式,列表模式,指针模式等;用户可对上述显示方式进行任意组合并保存,方便使用;软件还自动生成日志文件,记录灯丝状态,报警事件等,仪器开/关,方便管理

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美国阿美特克有限公司过程和分析仪器部
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