工业检测显微镜
M51 光学系统: UIS (无限远矫正) 光学系统 MX51 显微镜镜体: Z轴同轴粗微调调焦,载物台行程范围:32mm(从焦面上行2mm和下行30mm) 行程相同:15mm(配合透射光照明) Z轴微调焦每旋转一周的行程0.1mm(1个单位1μm) 调焦机构张力可调 有调焦上限位机构 MX51 照明系统: BX-KMA明视场照明器 BX-RLA2明视场/暗视场照明器 BX-URA2万能照明器 MX51 透射照明: 明视场MX-TILLK照明灯,配备光纤照明附件 (MX-TILLK须与MX-SIC6R2配合使用)
● 紧凑的设计实现*小的占地空间
●镜臂部分和镜体分开,使高的样品观察成为可能
●标配158X158mm手动移动载物台(*大可用于200mm晶圆检查) ●选配长工作距离物镜,极大方便磁头检查
●采用防静电设计,极大方便磁头检查
●提高系统灵活性和操作舒适性,满足SEMI S2/S8标准
注:更多详细介绍请联系本公司