环境扫描电子显微镜
1.分辨率: 二次电子: 高真空模式 3.0nm @ 30kV, 8nm @ 3kV 高真空减速模式 7nm @ 3kV (可选项) 低真空模式 3.0nm @ 30kV, 10nm @ 3kV 环境真空模式 3.0nm @ 30kV 背散射电子 4.0nm @ 30kV 2.样品室压力*高达2600Pa 3.加速电压200V ~ 30kV,连续调节 4.样品台移动范围 Quanta 250: X=Y=50mm Quanta 450: X=Y=100mm Quanta 650: X=Y=150mm
1.FEI ESEM(环境扫描电镜)技术, 可在高真空、低真空和环境真空条件下对各种样品进行观察和分析。 2.所有真空条件下的二次电子、背散射电子观察和微观分析。 3.先进的系统结构平台,全数字化系统。 4.可同时安装能谱仪、波谱仪和EBSP系统。 5.可安装低温冷台、加热台、拉伸台等进行样品的原位、动态观察和分析。
Quanta x50系列扫描电子显微镜是FEI公司*新一代的、真正的多用途扫描电镜,是**的Quanta产品家族的第三代产品。