气体质量流量控制器M3100系列 M3100系列　

产品型号： M3100V
流量范围(N2)： 25slpm ~ 120slpm
响应时间： ≤3秒
准确度： ≤±1% 满量程
重复精度: ≤±0.25% 满量程
输出输入信号: 0~5 Vdc
供电 : ±15Vdc，350毫安
耐压: ≤90 bar
工作环境温度: 0~50 °C

产品型号： M3100A
流量范围(N2)： 25slpm ~ 120slpm
响应时间： ≤3秒
准确度： ≤±1% 满量程
重复精度: ≤±0.25% 满量程
输出输入信号: 0~5Vdc或4~20毫安
供电 : ±15Vdc，350毫安
耐压: ≤90 bar
工作环境温度: 0~50 °C

测量原理：
气流被一个分层气流支路恒速分流，气体分子通过传感器。携带热量的下**流在RTD之间产生一个温差，这个温差同质量流量速率成比例。
优势：
质量流量检测
不因为温度和压力的波动而失准
方便型的流量控制系统
高准确度
耐高压（90bar）
快速的响应时间
高重复精度

 该系列产品应用特定的热传感器和控制电路，保证的测量的高准确度，允许在更广泛的操作条件下获得更**的数据。
质量流量控制器被广泛应用于半导体工业及其他工业领域。传感器设计为糙面，容易使用。
应用范围：
所有工业行业 
**的气体混合&分析 
表面处理工业（PVC，CVD反应堆等）的气体注射 
半导体工业 
组分泄露探测 
研发 
高压工业 
光纤 
燃料电池（油箱） 
反应堆系统 
气体混合系统 
实验室