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单波长椭偏仪（激光椭偏仪） 无　

单波长椭偏仪（激光椭偏仪） 无　
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产品价格： < 面议
产品型号：无　
品 牌：
公司名称：安合盟（天津）科技发展有限公司
所 在 地：天津蓟县
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产品简介

单波长椭偏仪（激光椭偏仪）

产品详细信息

  • 技术参数

  • 波长：637nm
    入射角：连续，30~90°（±0.03°）
    样品尺寸：4inch~8inch
    精度：（1200A SiO2标准片，5times）
    TKS±2.5A/N±0.005
    尺寸：80cm×34cm×42cm
    应用：
    镀膜工艺 *佳化及监控
    SiNx减反膜工艺
    TiO2减反膜工艺
    复合SiNx减反膜工艺
    SiO2钝化工艺
    复合SiNx/SiO2减反膜工艺
    SiO2掩膜工艺

  • 主要特点

  • 软件特征：
    整合量测、分析、计算
    操作模式**化
    同步原始数据呈现
    硬件特征：
    半导体镭射光源
    三格林泰勒棱镜偏振系统
    波长：260-1800nm
    消光比：＞105
    发散角：≤3mrad
    真空吸附载物台
    自动连续入射角（零度校正）
    高分辨率半导体探测器

  • 仪器介绍

  • 软件特征：
    整合量测、分析、计算
    操作模式**化
    同步原始数据呈现
    硬件特征：
    半导体镭射光源
    三格林泰勒棱镜偏振系统
    波长：260-1800nm
    消光比：＞105
    发散角：≤3mrad
    真空吸附载物台
    自动连续入射角（零度校正）
    高分辨率半导体探测器

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安合盟（天津）科技发展有限公司
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