光谱型椭偏仪
工作电压:110~250 V ▪ 尺寸:40 cm(W)x30 cm(D)x30 cm(H) (典型) ▪ 重量: 15 kg ▪ 角度: 45~90°
钨卤素灯, 氙灯, 氘灯(UV-可选) ▪ 工作电压: 100 V, 220 V ▪ 功率: 35, 50,75, 100 W
(5 mm ´ 5 mm) ~ (100 mm ´ 100 mm)
光谱型椭偏仪(专业的应用软件) Ø 多角度测角器(手动l). Ø 紫外-可选. Ø 此系统应用于检取薄膜的厚度,反射率及其他特性 Ø 易于操作,**技术及设计。 Ø 无需复杂的安装流程. Ø 一体操作. Ø 优良的软件操作系统. Ø 多层膜模拟, 有效的媒介计算功能,逆行分析. Ø Windows 基于32-bit操作环境(系统软件)
椭偏仪主要用于半导体、导体、介质和液体薄膜的厚度、光学特性、成分比例和表面粗糙度等测量和分析,也可用于半导体器件和FPD显示等领域。目前主要产品分光椭偏仪,以独特的设计和无需校准等多项先进**技术,使得测试时间大大减少的同时极大地增加了测量精度。 *新开发的多传感头的分光椭偏仪,用于半导体和显示器生产线的在线Mapping.