扫描电子显微镜
二次电子SE分辨率:3.0nm (高真空,30KV) ,10nm(高真空,3KV) 背散射电子BSE分辨率:4.0nm (低真空,30KV) 倍率:5~300,000倍
具有强大的自动功能,包括自动灯丝饱和、自动4偏压、自动枪对中、自动束流设定、自动合轴、自动聚焦和消色散、自动亮度对比度等 在3KV低加速电压时保证有10nm的分辨率 新型5分割高灵敏度半导体背散射探头 S-3400 II型具有5轴马达台,倾斜角度可达-20º ~+90º,样品*高可达80mm 分析样品仓可以同时安装EDX,WDX和EBSD 真空系统使用涡轮分子泵,工作效率高
S-3400N具有*新开发的电子光学系统,强大的自动化功能,操作更简便