自动椭圆偏振测厚仪
测量范围:1nm~4000nm; 测量*小值:≤1nm; 镀膜折射率范围:1.3 ~ 2.49 入射角:40°~90° 误差≤0.05°; 偏振器方位角范围:0°~180°; 偏振器步进角:0.0375°/步; 仪器测量精度:在10nm处误差为±0.5nm; 光学中心高度:75㎜; 允许样品尺寸直径:Φ10~Φ120㎜,厚度≤10㎜; 外形尺寸:730 x230X 290; 主机重量:30kg;
1、仪器采用消光式椭圆偏振方式测量,具有精度高、自动控制等特点。 2、光源采用氦氖激光,波长精度高。 3、仪器采用USB接口与电脑连接,配套软件对采样数据具有多种处理方式适用于不同需要,同时软件有完整版及学生版两种版本适用于教学要求。
本仪器为我公司的**产品,主要分为光源、接收器、主机、电子及通讯四部分。 1、 光源:采用波长为632.8nm的氦氖激光光源①其特点是:光强大、光谱纯、波长稳定性好。 2、 接收器:采用光电倍增管⑤,把光讯号变为电讯号,经放大后输出至微机,由微机选择出消光位置的角度值。 3、 主机部分:除以上两项外,还有起偏组件②,样品台③,检偏组件④。 4、 电子及通讯部分⑥:采集光强及对应的角度值并传输到计算机,再接收由计算机发出的指令逐步靠近消光点。