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等离子体刻蚀终点检测仪 IMP
等离子体刻蚀终点检测仪 IMP
点击查看大图
产品价格:
< 面议
产品型号:IMP
品
牌:
公司名称:北京英格海德分析技术有限公司
所
在
地:北��东城
浏览次数:
370
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产品简介
等离子体刻蚀终点检测仪
产品详细信息
技术参数
应用:
• 终点检测(End Point Detection)
• 靶的纯度鉴定
• 质量控制/ SPC.
• 残余气体分析
• 泄漏监测
主要特点
特点:
• 高灵敏度的 SIMS/MS,带脉冲离子计数检测器
• 三级过滤四极杆,标准配置质量数为300 amu
• 差式泵歧管,经连接法兰,接到过程室
• 离子光学器件,带能量分析器和内置离子源
• Penning规和互锁装置,以提供过压保护
• 数据系统与过程控制工具整合
• 稳定性(24h以上,峰高变化小于 ±0.5%)
• 通过 RS232、RS485或以太网, 软件MASsoft控制
• 程控DDE, 平行数字式I/O, RS232通讯
仪器介绍
IMP离子蚀刻探针(Ion Milling Probe),自带差式泵,坚固的二次离子质谱仪,适于分析离子蚀刻过程中的二次离子和中性粒子.
独有的专业终点检测(End Point Detection)仪器,用于离子蚀刻控制以及过程****化监测.
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北京英格海德分析技术有限公司
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