纳米操纵和加工系统(扫描探针显微镜)NANOFIRST-4000
1,STM探针刻蚀系统: 脉冲刻蚀电压:-10.0至+10.0伏 脉冲宽度:32us-1000ms *小刻蚀宽度:5nm *小刻蚀深度:0.1nm 失量路径*小位移:5nm 图像分辨率: 256×256或512×512 2,AFM探针推移式纳米操纵系统 *小操纵位移:1nm 操纵方向:任意 操纵接触力:任意(根据探针弹性) *小切割线宽:10nm 3,AFM导电探针微细加工系统 针尖电压:-10.0至+10.0伏 加工路径:矢量编程 4,轻敲探针推移式纳米操纵系统 *小操纵位移:2nm 操纵方向:任意 操纵接触力:任意(根据探针弹性) *小切割线宽:10nm
1,STM探针刻蚀系统 是一种利用普通STM铂铱探针在接近被作用样品1nm以下时进行瞬间高压电脉冲刻蚀的成像控制系统,同时兼备扫描隧道显微镜的所有功能。它能对介质表面直接进行微米至纳米级的加工,蚀刻范围从一百微米到几纳米。蚀刻路径以失量或BMP图形点阵方式任意编辑。系统能智能识别失量轨迹,并自动选择相应算法和刻蚀方式。刻蚀完成后可对刻蚀结果直接观测,测量区域深度、坡度、粗糙度等多种物理量。适用半导体制造、气敏传感器研究及生物工程实验等多种领域。 2,AFM探针推移式纳米操纵系统 采用普通AFM探针直接定位、切割、分离、推动纳米颗粒、纳米球、纳米薄膜等纳米物质实现纳米操纵功能,同时兼备接触式原子力成像能力。工作原理及过程:用普通AFM探针扫描样品,对操纵对象停止慢方向扫描,系统将重复扫描包含操纵对象的轮廓线,得到稳定的剖面线。用鼠标在扫描线中任意位置设定反馈开环和闭环时间点,同时可设置反馈开环时间点上扫描器Z向迅速抬起或下降的高度。点击操纵执行按钮,将在下一行扫描线实施操纵动作。本系统智能化程度高,成功率高,操作简单,所有操作仅用鼠标即能轻松完成。移动精度1nm。适用于纳米材料学、电子学等领域科学研究 3,AFM导电探针微细加工系统 近年来微细加工技术研究领域取得了很大进展,制备量子点、量子线,以及具有量子效应的量子器件的研究受到深入的研究。但是,量子效应一般在纳米尺度才会产生,而采用常规技术加工制备尺度在100nm以下的纳米尺度器件目前仍然存在很多技术困难。因此,一些新的纳米尺度加工技术,例如扫描探针显微镜(SPM)、原子力显微镜(AFM)受到研究者的重视。AFM纳米加工技术的原理,是在探针和样品之间加上阳极电压,在水分子存在的条件下,对样品表面纳米尺度的局部区域进行氧化,从而加工得到纳米结构和纳米器件。 4,轻敲探针推移式纳米操纵系统 采用普通轻敲AFM探针直接直接定位、切割、分离、推动纳米颗粒、DNA和碳纳米管、纳米薄膜等纳米物质实现纳米软样品操纵功能,同时兼备轻敲式AFM成像能力。工作原理及过程:用普通轻敲AFM探针进行样品扫描,对操纵对象停止慢方向扫描,系统将重复扫描包含操纵对象的轮廓线,得到稳定的剖面线。用鼠标在扫描线中任意位置设定反馈开环和闭环时间点,同时可设置反馈开环时间点上扫描器Z向迅速抬起的高度。点击操纵执行按钮,将在下一行扫描线实施操纵动作。本系统智能化程度高,成功率高,操作简单,所有操作仅用鼠标即能轻松完成。移动精度<2nm。适用于纳米生物学、材料学、电子学等等多领域科学研究。
采用普通轻敲AFM探针直接推动纳米颗粒、DNA和碳纳米管等纳米物质实现纳米移动功能,同时兼备Nanofirst-3000/3100型轻敲式AFM成像能力。 工作原理及过程:用普通轻敲AFM进行样品扫描,对操纵对象停止慢方向扫描,系统将重复扫描包含操纵对象的轮廓线,得到稳定的剖面线。用鼠标在扫描线中任意位置设定反馈开环和闭环时间点,同时可设置反馈开环时间点上扫描器Z向迅速抬起的高度。点击操纵执行按钮,将在下一行扫描线实施操纵动作。本系统智能化程度高,成功率高,操作简单,所有操作仅用鼠标就能轻松完成。移动精度<2nm.适用于纳米生物学、材料学、电子学等等多领域科学研究。