PEG100潘宁规,冷阴极电离真空计 351-000
产品简介
PEG100潘宁规可提供可靠的高真空测量。 坚固耐用的潘宁冷阴极传感器不会出现灯丝烧毁的现象。 由于采用钛阴极板且等离子点火后高电压将会降低,真空计还可在溅射应用环境下运行。 现场总线选件,除了对数模拟输出信号外,允许使用 Profibus DP 或 DeviceNet 协议将真空计轻松集成到真空系统中。
产品详细信息
PEG100 中真空至超高真空真空计
INFICON PEG100潘宁规可提供可靠的高真空测量。 坚固耐用的潘宁冷阴极传感器不会出现灯丝烧毁的现象。 由于采用钛阴极板且等离子点火后高电压将会降低,真空计还可在溅射应用环境下运行。 现场总线选件,除了对数模拟输出信号外,允许使用 Profibus DP 或 DeviceNet 协议将真空计轻松集成到真空系统中。
益处
- 革新的电极几何形状提供超卓的点火属性
- 等离子点火后降低的高压和钛阴极板可减少污染危险,即使在有氩气的溅射运行中
- 阳极环和钛阴极可轻松进行清洁或更换
- 极小化真空计附近的磁场强度
- 用于电源接通和等离子体点火的 LED 指示器
- 对数模拟输出信号
- 现场总线接口(Profibus DP、DeviceNet)允许使用网络通信将真空计轻松集成到真空系统中
典型应用
- 高真空压力监控
- 蒸发溅射系统
- 高真空范围内的一般真空测量和控制