Transpector CPM 紧凑型过程监控器

经济型综合气体分析

INFICON Transpector® CPM 通过以下功能提供现场预警并降低成本：

• 测量气相反应
• 验证真空完整性
• 鉴定痕迹量级污染物
• 测量过程和本底成分
• 检测气体纯度

功能

• 基于四极的气体分析系统可监控复杂的过程。
• 支持 24/7 全天候监控，可zui大限度地提高产量和吞吐量，从而大幅降低成本。
• 小巧灵活、经济实惠，适合安装到任何高压真空室。
• HexBlock™ 采样系统提高性能。
• 内置 CDG，支持过程压力监控和真空联锁。
• 可选校准基准（用于调节）和气体基准。
• 长寿命封闭式离子源可检测亚 ppm 量级的污染，同时耐zui强的腐蚀性和活性气体。
• 轻便，易携带。