Transpector XPR3 气体分析系统高压强型四极质谱仪

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产品型号：高压强型四极质谱仪

品牌：INFICON

公司名称：杭州太昊科技有限公司

所在地：浙江杭州

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产品简介

Transpector XPR3 提供的 RGA 过程监控功能可以为您提供有关污染级别、除气级别、气体纯度和设备操作等方面的实时数据。用户可以根据此信息检测和诊断问题，从而*大化吞吐量和产量，也可以根据此信息制定更有效的预防性维护计划，从而延长工具运行时间。

产品详细信息

Transpector XPR3 气体分析系统

无需复杂压力转换的 PVD 过程监控

Transpector XPR3 提供的 RGA 过程监控功能可以为您提供有关污染级别、除气级别、气体纯度和设备操作等方面的实时数据。用户可以根据此信息检测和诊断问题，从而zui大化吞吐量和产量，也可以根据此信息制定更有效的预防性维护计划，从而延长工具运行时间。

Transpector XPR3 是新一代气体分析系统，可用于基于四极杆的高压过程气体分析。它借鉴了之前 INFICON 系统的成功经验，具有非常好的的灵敏度、准确性和灵活性，可以监控气相沉积 (PVD) 过程。Transpector XPR3 取得了一系列技术上的突破，无需大型、复杂的压力转换设备，即可在 20 mTorr 至超高真空范围内操作。