显微激光测振仪MLV-100 显微激光测振仪MLV-100
产品简介
MLV-100显微激光测振仪通过显微光学系统可实现对微小物体的振动测量,使激光光斑达到微米量级,提高测量的准确性,并可通过显微成像系统实时观察物体的振动状态。 随着MEMS的日益发展,显微式激光测振仪可以测量MEMS元器件的振动和形貌,是专门对微结构的振动测量以及可视化测量分析的理想工具。显微激光测振仪MLV-100显微激光测振仪MLV-100
产品详细信息
显微激光测振仪MLV-100
MLV-100显微激光测振仪通过显微光学系统可实现对微小物体的振动测量,使激光光斑达到微米量级,提高测量的准确性,并可通过显微成像系统实时观察物体的振动状态。
随着MEMS的日益发展,显微式激光测振仪可以测量MEMS元器件的振动和形貌,是专门对微结构的振动测量以及可视化测量分析的理想工具。
点直径* |
大约10um |
||
频率响应范围* |
DC to 25KHz, DC to 100KHz, DC to 1MHz/2.5MHz |
||
测量速度范围 |
法向* |
50mm/s,500mm/s,1m/s5m/s10m/s |
|
切向* |
150mm/s, 1500mm/s, 15m/s,30m/s |
||
滤波设置 |
高通、低通滤波设置 |
||
显微镜 |
|||
目镜 |
放大倍率 |
W.D |
光束直径 |
5X |
34mm |
30um |
|
10X |
34mm |
20um |
|
20X/50X |
20mm/13mm |
10um/2um |
|
X-Y平台 |
|||
尺寸 |
100X100mm |
||
移动范围 |
+/-10mm |
||
分辨率 |
0.001mm |
*可根据客户要求,并可为客户定制