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膜厚量测仪FE-300

膜厚量测仪FE-300
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产品价格： < 面议
产品型号：
品 牌：大塚电子
公司名称：先锋科技（香港）股份有限公司
所 在 地：北京海淀
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产品简介

膜厚量测仪FE-300的特点
测试范围涵盖薄膜到厚膜
膜厚量测仪FE-300的特点
小型・低价，精度高
无复杂设定，操作简单，短时间内即可上手
外观新颖，操作性提高
非线性*小二乘法，实现光学常数解析（n：折射率、k：消光系数）

产品详细信息

小型・低价格！简单操作”非接触”膜厚量测仪FE-300！

膜厚量测仪FE-300的特点
  • 测试范围涵盖薄膜到厚膜
  • 基于**反射率光谱分析膜厚
  • 小型・低价，精度高
  • 无复杂设定，操作简单，短时间内即可上手
  • 外观新颖，操作性提高
  • 非线性*小二乘法，实现光学常数解析（n：折射率、k：消光系数）
 
对应膜种
○ 多层膜                        ○ 折射率倾斜
○ 非干涉膜                    ○ 超晶格结构
 
用途
○ 光学薄膜（ARfilm、ITO等）
○ FPD相关（ITO、PI、PC、CF等）
 
测量项目
多层膜厚解析
**反射率测量
光学常数解析（n：折射率k:消光系数）
 
测量实例
 

式样
型号 FE-300V FE-300UV FE-300NIR *1
本体 标准型 薄膜型 厚膜型 厚膜型（高分辨率）
样品尺寸 *大 8 寸晶圆（ 厚度 5 mm ）
测量膜厚范围（ｎｄ值） 100 nm ～ 40 μm 10 nm ～ 20 μm 3 μｍ ～ 300 μm 15 μｍ ～ 1.5 mm
测量波长范围 450 nm　～　780 nm 300 nm　～　800 nm 900 nm　～　1600 nm 1470 nm　～　1600 nm
测量精度 ± 0.2 nm 以内 *2 ± 0.2 ｎｍ 以内 *2 - -
重复精度 0.1 nm 以内 *3 0.1 nm 以内 *3 - -
测量时间 0.1 s ～ 10 s 以内
光斑直径 约 φ 3 mm
光源 卤素灯 氙灯与卤素灯 卤素灯 卤素灯
通讯接口 USB
尺寸，重量 280（W)　×　570（D）　×　350（H）　mm、　约 24 kg
软件功能
标准 波峰波谷解析、FFT解析、*适化法解析、*小二乗法解析
选配功能 材料评价软件、薄膜模型解析软件、标准片解析
*1  细规格请咨询
*2  相对于VLSI 公司产膜厚标准（100nm SiO2/Si）的膜厚保证书记载的测量保证值范围
*3  VLSI 公司产膜厚标准（100nm SiO2/Si）的同一点反复测量时的扩张不确定度（包括因子2.1）

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