双炉体滑动PECVD系统 OTF-1200X-PESDFG-50

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产品型号:OTF-1200X-PESDFG-50
 牌:科晶
公司名称:深圳市科晶智达科技有限公司
  地:广东深圳
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产品简介

 双炉体滑动PECVD系统是一款双炉体滑动的PECVD系统,并且连接有循环手套箱。此款设备中石英炉管与一循环手套箱相连接,允许客户用CVD方法把样品制作好以后,直接把样品移入到气氛保护环境下的手套箱中。炉体采用滑动式,可在室验中对样品进行快速加热和快速冷却。此款仪器特别适合新一代纳米材料和二维晶体材料的探索研究。

产品详细信息

技术参数
 双炉体滑动PECVD系统炉体结构(点击图片查看详细资料)

● 两个炉体在一个滑轨上面,和通过对炉体的滑动达到对样品快速加热和快速冷却的效果

● 连续工作温度:1100℃

● 两个炉体都可以设置30段升降温程序

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等离子体射频电源

● 输出频率: 13.56 MHz ±0.005%

● *大射频功率: 500W

● 匹配: 自动匹配

● 噪音: <50 dB.

● 冷却: 空气冷却

● 输入电源: 208-240VAC, 单相, 50/60Hz

真空系统

● 采用VRD-16的双旋真空泵, 极限真空10E-3 Torr

● KFD25快接,不锈钢波纹管,手动挡板阀与法兰,真空泵相连

● 管内真空可达10E-2 Torr

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质量流量计混气系统

● 四个精密的质量流量计(精度1.5% ) :数字显示,自动控制

● MFC1范围: 0~100 sccm

● MFC2和3: 0~200 sccm

● MFC4范围: 0~500 sccm

● 一个混气罐,底部装有泄废液口

● 4 个不锈钢针阀安装在供气系统的左侧,可手动控制4种气体

● 进气口: 4个1/4NPS

● 出气口: 4个 1/4NPS.

● 采用PLC控制流量计,通过触摸屏进行控制

● 可选购气液混合装置,用于CVD系统

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炉管&密封法兰

● 高纯石英管,尺寸50mm O.D x 44mm I.D x1800 mm L

● 配有一套不锈钢密封法兰,并且上面安装有真空计

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防腐型真空计

● 输入电源 24V,1A DC(配有一电压转换器)

● 测量范围 3.8x10-5 -1125 Torr.

● 数据显示 数字显示(屏幕尺寸为20x14mm),其数据显示单位为torr

● 接头 KF16 接头

● 产品尺寸 46mm×28mm×126mm ( L x W x H)

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循环手套箱

● 手套箱尺寸:780mm(L) x 700mm(W) x 650mm(H)

● 带有除水系统:保持水含量< 2 ppm

● 一真空法兰在手套箱的左边,与PECVD系统的石英管相连接

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质保期 一年质保期,终身维护(不包含炉管,加热元件和密封圈)
质量认证 ● CE 认证
● 所有电器元件(>24V)都通过 UL / MET / CSA 认证
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