小型1000℃RTP炉 OTF-1200X-4-RTP

● 双层莫来石钢构（不带水冷或风冷）

● 内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率，同时也可以延长仪器的使用寿命

● 8 根红外灯管 (D=10 L=300 T =200, mm）（点击图片查看详情）

● 石英管尺寸: 4.33" O.D x 4.05" I.D x 15" Length

● 3" 的样品架固定在滑动法兰上，石英材料

● 一片3" AlN 片放在样品架上用来放置需要退火的样品

● AlN 具有很高的热导率，所以在样品放置的区域有很好的温度均匀性+\- 5°C

● 带KF-D25 高真空法兰由不锈钢制作，两个高温“O”型圈密封

● 滑动法兰使装载样品很容易. 3" 样品架和内插式热偶保证了温度的准确

如果要求通冷却水

● 请确定冷却水流速 ≥ 3L/min, 水温 < 20ºC; 水压 > 25 PSI

● 我们建议采用 循环水制冷器作为冷却系统（为了节约用水）

● 警告: 这款 RTP 炉在1000ºC ~ 1100ºC下保温时间不超过 600 秒，否则“ O”圈将被烧融

● 标配：数字真空表，测量范围：10mtorr~800 torr 。注意：此表是在氮气下校准的，只有在氮气和空气下表上显示的是实际压力，当通入任何其他气体时，必须参考说明书中的相对气体对照表，否则后果会很严重。

● 可选：本公司进口的防腐型数字式真空显示计，其测量范围为3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换。（点击图片了解详细参数）

● 用机械泵真空度达 50 mtorr

● 用分子泵真空度可达 10-4 torr

● PID 自动控制，30段程序带过热和断偶保护

● 热偶: 进口K type

● 自整定功能

● 控温精度: +/- 1°C

● RS485 串口和温控软件（模块和数据线需要另购）

● 温控操作视频：点击查看

● 60ºC/min (在 200 mtorr下), 117ºC/min (在一个大气压下)

● 选择: 为得到较快的降温速度 < 10°C/秒, 你可以选择带滑轨的 RTP 炉，如下图:

此炉可以增加镀SiC的石墨坩埚改造成RTE(快速热蒸发）炉（可查看下方的图片自己制备RTE）

760 X 330 X 530 mm (30"W x 13"L x 21" H)

● CE 认证

● 所有电器元件（>24V）都通过 UL / MET / CSA 认证

● 若客户出认证费用，本公司保证单台设备通过德国 TUV 认证或 CAS 认证

砖利名称：一种快速高温退火炉

砖利编号：ZL-2011-2-0077168.4

尊重**、鄙视抄袭、侵权必究

注意事项

①炉管内气压不可高于 0.02MPa

②由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为 0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加****

③当炉体温度高于 1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态

④进入炉管的气体流量需小于 200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击

⑤石英管的长时间使用温度＜1100℃

⑥对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于 0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉 管破裂，法兰飞出等）