混气系统2路浮子 CGM-2F

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产品型号:CGM-2F
 牌:MTI
公司名称:深圳市科晶智达科技有限公司
  地:广东深圳
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产品简介

CGM-2F是一款小型的两通道混气系统,用于惰性气体的控制,可用以小型管式炉,手套箱,等离子清洗机,小型PECVD系统等。

产品详细信息

性能指标和基本配置
浮子流量计

两个浮子流量计可以将流量速率控制在16 to 160 mL/min

混气罐

内置一个不锈钢混气罐,可以良好的混气

机械压力表(混气罐)

-0.1-0.15 MPa

关键和阀门

● 采用ss304不锈钢
● 三管件接口直径为1/4”(接管可选聚四氟或不锈钢)
1 1

外形尺寸

340 mm L x 300 D mm x 180 H mm

净重

约10 Kg

可选

● CVD或者PECVD
● 液相气体发生器
● 1200℃微型二通道混气CVD系统--OTF-1200X-S50-2F
● Plasma等离子清洗
1 1 1

保修期 一年保修,终身技术支持。
特别提示:
1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。
2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。
点击查看售后服务承诺书。

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