GSL-4Z混气系统4路质子 GSL-4Z
产品简介
GSL-4Z可以用于控制一种到四种的气体流经真空密封的管式炉，这种气体控制系统安装在移动架上，管式炉可以放在GSL-4Z的上面，气体控制系统的前面板上有控制并显示气体流量的调节阀。结合科晶集团的管式炉，它可以用于CVD系统及退火炉，用来研究气体环境对材料的影响。
产品详细信息
技术参数
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功能模块 |
项目 |
参数 |
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混气系统 |
质量流量控制器
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工作电压：185~245V/50Hz *大输出功率：18W 控制范围：
工作温度：5~45 ºC *大压力：3x106 Pa 准确度：±1% FS |
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机械压力表 |
测量范围： -0.1~0.15 MPa (0.01 MPa/grid) |
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针阀 |
316不锈钢 |
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混气罐 |
Φ80X120mm |
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截止阀 |
Φ1/4”316不锈钢针阀 |
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尺寸 |
600x600x650 mm |
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