1700℃单温区三通道混气CVD系统 GSL-1700X-F3LV

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产品型号：GSL-1700X-F3LV

品牌：MTI

公司名称：深圳市科晶智达科技有限公司

所在地：广东深圳

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产品简介

GSL-1700X-F3LV是一款CE认证的管式炉CVD系统，其真空泵采用双旋片式，混气系统采用三路浮子供气系统，*高温度可以达到1700°C，真空度可达到5x10-2 torr ，可以混合1-3种气体。

产品详细信息

技术参数
管式炉结构	采用双层壳体结构，并带有分冷，使得壳体表面的温度小于55°C.
	保温材料采用高纯氧化铝多晶纤维可以环保节能，减少热量的损失
	内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率，同时也可以延长仪器的使用寿命
加热元件	1800 grade MoSi2 ( 8根)
*高工作温度	1700℃
*大升温速率	5℃/min
*大降温速率	5℃/min
加热区长度	455mm (18")
恒温区长度	150(+/-1℃) 注：由于测量手段及外部环境的影响，测量结果可能会有偏差，此参数仅供参考不作为该设备的技术指标。您购买产品需要准确的恒温区数据，请与我公司销售人员联系
温控系统	一个精密温度控制器 PID方式控制，通过可控硅 SCR
	可设置30段升降温程序
	带有过热和断偶保护
控温精度	+/-1℃
炉管材质和尺寸	99.8% 高纯氧化铝 Al2O3 陶瓷管
	（标配）OD: 60 mm：ID: 52mm x1000 mm length
	（选配）OD: 80 mm：ID: 72mm x1000 mm length
密封法兰	两个不锈钢密封法兰，法兰上已经安装机械压力表（图片中的蓝表为选配）和阀门
	通过机械泵真空压力可以达到5x10-2 torr
	泄漏率*大6 mtorr/min
输入电源	AC 208~240V, 单相, 50/60Hz, 功率：*大5KW
真空泵和配件	真空泵	一个双旋片式机械泵安装在移动架内
	真空泵	通过此机械泵真空度可以达到 5x10^-2 torr
	配件	标配的真空配件: 一对不锈钢密封法兰和KF-25 真空泵接口，两个不锈钢针阀， 1/4"的软管接头
		一个1000mm长的KF-25 不锈钢波纹管和四个KF-25不锈钢快速卸装卡箍
		可选：本公司进口的防腐型数字式真空显示计，其测量范围为3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换。
气体流量计	3个浮子流量计（***度4%FS）安装在一个移动架上，可以推动，可同时混入三种不同气体
	第1路气体流量范围为10-100 cc/min
	第2路气体流量范围为16-160 cc/min
	第3路气体流量范围为25-250 cc/min
	一个压力表安装在移动加上，压力表直接于移动架内的混气箱相连接，来监测混合气体的压力
	四个不锈钢针阀安装在前面板上

运输信息	产品尺寸	外径80 & 100mm 的氧化铝陶瓷管
		炉体尺寸：550 x 500 x 700mm L x W x H
		混气系统：: 600 x 600 x 700mm 真空机组： 600 x 600 x 700mm
	净重	450 lb (总计)
	运输重量	500 lb (总计)
质保期	一年质保期，相关耗材除外，如炉管，密封圈等易耗件
质量认证	CE certified