EFU过滤单元 efu
产品简介
EFU:EFU是与液晶设备、激光设备、单/多晶硅光伏设备,自动化设备等加工生产设备配套使用的洁净设备,可以区域洁净度达到1级-1000级。特点:1. 体积小,超薄厚度,含高效*小厚度可达到150mm,被称为*薄的FFU;2. 重量轻,含高效总重量达到5.5kg;3. 超低噪音:56dB4. 超高洁净等级:ISO3级(1级)、ISO4级(10级)、ISO5级(100级)洁净等级。5. 可以根据客户设
产品详细信息
EFU是与液晶设备、激光设备、单/多晶硅光伏设备,自动化设备等加工生产设备配套使用的洁净设备,可以区域洁净度达到1级-1000级。
特点:
1. 体积小,超薄厚度,含高效*小厚度可达到150mm,被称为*薄的FFU;
2. 重量轻,含高效总重量达到5.5kg;
3. 超低噪音:56dB
4. 超高洁净等级:ISO3级(1级)、ISO4级(10级)、ISO5级(100级)洁净等级。
5. 可以根据客户设备规格要求选用标准产品,也可订制特殊规格的EFU。