洁净室多级碰撞采样器 CCI-2110
产品简介
洁净室多级碰撞采样器将悬浮颗粒按照粒径大小分级采集到硅片,铝膜及其它平面介质上进行扫描电镜或其它技术分析洁净室污染。 洁净室多级碰撞采样器将悬浮颗粒按照粒径大小分级采集到硅片,铝膜及其它平面介质上进行扫描电镜或其它技术分析洁净室污染。
产品详细信息
洁净室多级碰撞采样器将悬浮颗粒按照粒径大小分级采集到硅片,铝膜及其它平面介质上进行扫描电镜或其它技术分析洁净室污染。
洁净室多级碰撞采样器的特点:
- 6级碰撞采样
- 切割直径:0.05、0.1、0.3、1.0、3.0.10um
- 采集颗粒于不同介质上进行粒径、形状及化学成分分析
- 噪音低无污染采样泵
- 采样流量:3L/min