供应高輝度真空紫外(VUV)光源ユニット L10366 L10366
产品简介
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产品详细信息
高輝度真空紫外(VUV)光源ユニット L10366
新しい真空紫外光源ユニットです。「MgF2窓付き高輝度重水素ランプ」を内蔵し、輝度は約4倍高くなりました(当社従来品比)。空冷式と、真空フランジ取り付け部を採用したことにより、使い易さが格段に向上しました。
L10366, L10388 (PDF 440kB)
特長
■高輝度:約4倍(当社従来品比)
■115 nmからの高い真空紫外線強度
■空冷(冷却水不要)
■外部制御可能(ランプのON / OFF、ランプ点灯ステータスシグナル)
■光軸調整不要
用途
■分光光度計、蛍光光度計
■半導体ウェーハ、液晶パネルなどの静電気除去
■光イオン化検出器(PID)
■紫外線による材料耐性評価
■光CVD(光気相成長)
■励起用光源
輝度分布(at 230 nm)
構成品
仕様
点灯初期における発光波長分布(真空紫外領域)
リプレイス光源
外形寸法図(単位:mm)
■高輝度:約4倍(当社従来品比)
■115 nmからの高い真空紫外線強度
■空冷(冷却水不要)
■外部制御可能(ランプのON / OFF、ランプ点灯ステータスシグナル)
■光軸調整不要
用途
■分光光度計、蛍光光度計
■半導体ウェーハ、液晶パネルなどの静電気除去
■光イオン化検出器(PID)
■紫外線による材料耐性評価
■光CVD(光気相成長)
■励起用光源
輝度分布(at 230 nm)
構成品
仕様
点灯初期における発光波長分布(真空紫外領域)
リプレイス光源
外形寸法図(単位:mm)