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反应气体发生器

反应气体发生器
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产品价格： < 面议
产品型号：
品 牌：MKS
公司名称：深圳市普威科新能源装备有限公司
所 在 地：广东深圳
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产品简介

ASTRON系列远程等离子体电源

产品详细信息


基于NF3等含氟气体电力，产生活性气体，广泛应用于CVD等工艺腔清洗，它具有功能大，效率高等特点。

产品有：


  • ASTRON i-AX7670(3升)
  • ASTRON ex-AX7685(6升)
  • ASTRON hf-s-AX7645(15升,分体式）
  • ASTRON hf-AX7640（15升）
  • ASTRON hf+AX7635（22升）
  • ASTRON hf++AX7667（30升）


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深圳市普威科新能源装备有限公司