反应气体发生器

产品价格: < 面议
产品型号:
 牌:MKS
公司名称:深圳市普威科新能源装备有限公司
  地:广东深圳
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产品简介

ASTRON系列远程等离子体电源

产品详细信息


基于NF3等含氟气体电力,产生活性气体,广泛应用于CVD等工艺腔清洗,它具有功能大,效率高等特点。

产品有:


  • ASTRON i-AX7670(3升)
  • ASTRON ex-AX7685(6升)
  • ASTRON hf-s-AX7645(15升,分体式)
  • ASTRON hf-AX7640(15升)
  • ASTRON hf+AX7635(22升)
  • ASTRON hf++AX7667(30升)


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